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【實(shí)測記錄】高解析度 大視場顯微鏡頭+激光自動(dòng)對焦

時(shí)間:2024-12-16 點(diǎn)擊次數(shù):132
結(jié)合AOI(Auto optical inspection)應(yīng)用要求的多倍率、高精度、高效率的剛性需求,我們用現(xiàn)有的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭模塊搭建了多種倍率規(guī)格的開放式、高集成友好度的顯微成像光路,為圖像方式自動(dòng)對焦、液態(tài)鏡頭自動(dòng)對焦、激光自動(dòng)對焦等對焦模塊預(yù)留了帶有調(diào)節(jié)裝置的安裝接口。
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無論您是終端用戶還是OEM系統(tǒng)集成商,均可根據(jù)應(yīng)用要求,用我們高解析度、多種倍率規(guī)格的鏡頭模塊搭配不同靶面、不同像元尺寸相機(jī)、各類激光自動(dòng)對焦單元,搭建性能毫不冗余的一鍵飛測高功效設(shè)備,實(shí)現(xiàn)不同的AOI檢測要求。
以下是高解析度、大視野鏡頭模塊 同軸接入自動(dòng)聚焦傳感器,采用不同相機(jī)、不同放大倍數(shù)下的實(shí)測記錄,請參考:
實(shí)測案例一:16x - 線掃6K TDI
在飛測應(yīng)用場景中,線掃相機(jī)能夠不間斷地對勻速運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的樣品進(jìn)行連續(xù)采圖,線陣分布的像素利用效率更高、掃描表征速度更快。
然而,在線掃相機(jī)+高放大倍率的應(yīng)用場景中,高倍鏡頭的成像景深相對較小,對運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定系和精度要求較高,圖像精度受限于掃描運(yùn)動(dòng)精度,最終影響測量精度。

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針對高精度、快速檢測應(yīng)用,我們在模塊式成像光路中引入了TDI模式線掃相機(jī),結(jié)合實(shí)時(shí)激光自動(dòng)對焦傳感器,進(jìn)行了以下測試:

  • 相機(jī):6560(H)x256 (V)  Pixel Size 3.45μm  TDI Stage 64 / 128 / 192 / 256;

  • 鏡頭光學(xué)放大倍數(shù):16x;

  • 解析度:1μm;

  • 物鏡初始成像景深:3.5μm;
實(shí)測案例二:32x - 面陣 全局快門 CCD

在完成上述高解析度+線掃的成像測試后,我們更換了光路中的相機(jī)和鏡筒模塊,即刻獲得了更高解析度的實(shí)時(shí)自動(dòng)對焦顯微成像系統(tǒng):

  • 參數(shù):1/1.2"  2MP CMOS CCD, Pixel Pitch 5.86μm 167fps
  • 鏡頭光學(xué)放大倍數(shù):32x
  • 物鏡初始成像景深:1.6μm
  • 視野:0.41mm
  • 分辨率:0.7μm

除上述兩種記錄配置外,這套開放式的成像光路還能搭配更多規(guī)格的CCD、自動(dòng)聚焦模塊、變倍/定倍等功能模塊,呈現(xiàn)更多倍率、視野和解析度的高質(zhì)量實(shí)時(shí)聚焦圖像。以下是這套高解析度 大靶面鏡頭搭配自動(dòng)聚焦模塊的規(guī)格參數(shù),請參考:

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我們的光學(xué)實(shí)驗(yàn)室可提供各倍率規(guī)格高解析度鏡頭、各類面陣/線掃相機(jī)搭配激光自動(dòng)對焦傳感器進(jìn)行驗(yàn)證性測試,歡迎有相關(guān)測試需求的各領(lǐng)域集成或終端用戶與我們聯(lián)系。眼見為實(shí)!驗(yàn)證成像質(zhì)量和集成可能性。

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